SOLUTION
背 景
湿电子化学品中的异丙醇(IPA)是一种在泛半导体行业中使用量最大的一种有机溶剂,用于清洗、光刻、显影、蚀刻、掺杂等工艺环节,尤其在清洗环节。
工艺流程
产品检测结果
结 论
通过膜工艺,异丙醇国际标准要求的34种金属离子,29种达到了G5等级;5种达到了G4等级;通过技术迭代,预计34种金属离子可全部达到G5等级。